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サーマル式マスフローモジュール SEC-Z700Sシリーズ

サーマル式マスフローモジュール SEC-Z700Sシリーズ  

マルチパターニングが増える最先端の半導体プロセスにおいて、マスフローモジュールの性能は半導体製造装置のパフォーマンスに大きく影響します。流量精度、再現性、応答性能、パーティクルレスなど必須の性能を備えたSEC-700S  SeriesがAtomic Levelのエッチング、成膜プロセスにおける多種多様な要求に対応します。

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商品コード: SEC-Z700Sシリーズ

サーマル式マスフローモジュール SEC-Z700Sシリーズ

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製品の特長

・流量精度
±1%P.S.保証(設定流量5〜100%F.S.(N2))
・ワイドレンジ制御
低流量域0.5%F.S.まで制御可能
・バルブシャットオフ性能
フッ素樹脂(PFA)を採用(Bin#01〜#04)
全閉時流量0.1%F.S.以下
・Tunable response機能
調整可能範囲0.3秒以上 1秒以下
・動作可能温度
使用可能温度15〜60℃
・性能ばらつきの低減
繰り返し性±0.15%S.P.以内(設定流量5〜100%F.S.)
流量応答時間450±30ミリ秒
・ゼロ点安定性
±0.3%F.S./年以内
・MRMG番号(Bin#)
10SCCM〜50SLM F.S.まで9仕様で対応

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